Gpixel社 半導体検査・ライフサイエンスアプリケーション向けTDIイメージャーを拡大

兼松フューチャーテックソリューションズ(KFT)が日本の販売代理店を務めるGpixel社は、2024年12月2日、高速裏面照射型(BSI)で時間差信号蓄積(TDI)ラインスキャン製品であるGLTシリーズで２つの新製品を発表しました。水平解像度が8kピクセルのGLT5008BSIと水平解像度が16kピクセルのGLT5016BSIはどちらも、高性能の5μmピクセル技術を利用しています。これらの製品は、感度を向上させる裏面照射、高ダイナミックレンジ(各256ステージと32ステージ)を提供するデュアルバンドアーキテクチャ、スループットを最適化する高速読み出し機能を備えています。この感度と速度は、低照度で広視野検査が求められる半導体検査、高度なICパッケージング、ディスプレイ製造、およびゲノミクスなどのハイスループットライフサイエンスイメージングアプリケーションに最適です。

GLT5008BSIは500k Hzと1M Hzの2つの速度で利用でき、GLT5016BSIは最大500k Hzのラインレートで動作します。500k Hz動作時のダイナミックレンジは12ビットモードで65.8dBです。10ビットモードでは、1M Hz動作時で61.5dBを達成します(GLT5008BSIのみ)。256ステージと32ステージのバンクは、別々に読み出し、オフチップで組み合わせてダイナミックレンジを拡張することができます。

Figure 1. GLT5008BSI and GLT5016BSI spectral sensitivity curves for both UV and VIS variants.

どちらの製品も、BSI技術と反射防止コーティング技術により、440nmの波長領域で92%以上のピーク量子効率を実現し、の高感度を誇ります。GLT5008BSIとGLT5016BSIは、取り外し可能なカバーガラスを搭載し、300nm未満の波長領域で高いQEを実現するUV最適化バージョンが標準仕様です。また、GLT5016BSIには、可視光領域およびNIR領域に最適化されたバージョンも用意されております。 画像データは、72ch または 108ch の sub-LVDSを経由で出力され、GLT5008BSI と GLT5016BSI ではそれぞれ 1.2 Gbps または 960 Mbps で送信されます。最大フレームレートを必要としないアプリケーションでは、マルチプレクサモードを使用することで、出力チャネルの数を削減できます。

Figure 2. GLT5008BSI (left) GLT5016BSI (right) product picture.

Table 1. Comparison table of GLT5008BSI and GLT5016BSI basic specifications.

「今日、私たちは低照度アプリケーション向けのTDIセンサーの製品範囲を大幅に拡大しています」と、Gpixel社の最高商務責任者であるWim Wuyts氏は述べています。「当社の新しい8kおよび16k TDIセンサーは、既存の9k TDIセンサーとともに、TDIカメラとフレームグラバーのマルチソース戦略により、機器メーカーにサプライチェーンのリスクを軽減するためのいくつかのオプションを提供します。」 GLT5008BSIは231ピンμPGAパッケージ、GLT5016BSIは415ピンμPGAパッケージで提供されます。サンプルと評価システムは、2025年第1四半期から提供開始予定です。  

製品詳細については、www.gpixel.com をご確認ください。

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