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真空対応　ヘッド分離型　sCMOS軟X線カメラ開発

カメラの真空導入が容易な「センサーヘッド分離型カメラ」を
株式会社アートレイ様と共同で開発しました。
センサー部とカメラ本体が分離しているため、センサー部のみを真空環境内に容易に設置できます。

導入前の課題

真空環境下で行われる
軟X線・EUV研究開発での課題

  • 設置スペースの制限
  • 真空環境下使用対応（アウトガス対策等）
    により、カメラの設置が困難
  • 使用が容易なカメラが無い

導入後のメリット

  • センサーヘッドカメラ本体と分離することで、
    センサーのみを真空環境下に設置でき、カメラの設置が容易に
  • UV領域に感度をもつセンサーを使用することで、
    軟X線・EUV研究開発を容易に

導入事例詳細

軟X線やEUV領域の研究開発を行う大学、及び研究開発機関より「真空環境下で実験を行うための使いやすいカメラが欲しい」との要望を受け、UV領域に感度のあるGpixel社GSENSE400BSIを用い、既存の「通常型真空カメラ」「フランジ設置型カメラ」よりも真空導入が容易な「ヘッド分離型カメラ」を開発しました。

各タイプ比較

ヘッド分離型カメラ通常型真空カメラフランジ設置型カメラ
真空対応カメラ
各タイプ概要
利便性〇××
センサヘッドが小さく、真空内の
取付自由度が高い		真空内に大きなスペースが必要センサ設置位置がフランジ面に限られる
開発難易度〇×〇
CCDではアナログ出力であったが、
デジタル出力になりノイズ増加無しでケーブルを延長可
  • 真空対応部品、真空対応ケース等
    製作難度が高い
  • カメラ発熱対策が必要
コスト〇×〇
真空対応、熱対策が必要なためコストがかかる

ヘッド分離型カメラの特徴

  • カメラ本体が大気中にあるため、真空対応が不要。
  • センサーヘッドが小さく、フランジ～ヘッド間はケーブル接続のため、
    真空内の取付自由度が高い。
  • センサーヘッドはペリチェ機構を持ち、真空内でのセンサー冷却も可能。
ヘッド分離型カメラは、センサー部とカメラ本体が分離しているため、
センサー部のみを真空環境内に置くことができ、設置が容易です。
また、真空環境で必要となる冷却ペリチェ機構も搭載しています。
併せて、以下の特徴があるGpixel社製GSENSE400BSI イメージセンサーを
使用しています。
  • UV領域に感度を持つ2k x 2k 裏面照射型 S(Scientific)-CMOSイメージセンサー
  • 95％のピークQE
  • 長時間露光モードでの低ノイズ、低電力、24 fps で 93dB 超の高ダイナミックレンジ
  • EUV、軟X線検知等、大学・研究機関で多数の採用実績あり

GSENSE400BSI仕様

お客様のニーズをお伺いし、兼松グループならではの世界的なネットワークと、
長年の技術力をもって最適な製品をご提案いたします。
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